表面粗糙度要求

精密零件加工的表面粗糙度通常要求在低的數值范圍內。在一些高精度的機械零件中，如航空發動機葉片、精密模具等，表面粗糙度 Ra 值可能要求達到 0.1 - 0.8μm。這是因為較低的表面粗糙度可以減小零件表面的摩擦系數，摩擦力，提高零件的耐磨性。例如，在液壓系統的精密閥芯和閥套加工中，低粗糙度的表面能夠有效防止油液泄漏，保證液壓系統的準確控制。

對于一些光學零件，如高精度透鏡、反射鏡等，表面粗糙度要求更為嚴格，可以達到級。這是因為光學零件表面的微小粗糙度會影響光線的反射和折射，從而光學系統的成像質量。例如，在光刻機的光學鏡片加工中，表面粗糙度必須控制在極低水平，以確保芯片制造過程中的高精度光刻成像。

表面紋理要求

精密零件表面紋理需要具有良好的一致性和方向性。在一些需要良好密封性能的零件中，如汽車發動機的氣缸墊，其表面紋理應設計為有利于密封的形式，通常是細密且均勻分布的紋理，這樣可以增加密封接觸面積，提高密封。

對于有相對運動的精密零件，如高速軸承的內外圈和滾動體，其表面紋理方向應與運動方向相適應，以減小運動阻力和磨損。例如，通過精密磨削加工，使軸承滾動體表面紋理呈圓周方向，能夠保證滾動體在高速旋轉過程中更加順暢，并且能夠均勻地分布潤滑脂，延長軸承的使用。

表面殘余應力要求

精密零件加工后，表面應盡量減少殘余應力。殘余應力可能導致零件在使用過程中發生變形，影響零件的尺寸精度和形狀精度。例如，在精密機械加工后的金屬零件中，如果表面殘余應力過大，當零件受到外部載荷或者溫度變化時，就可能會出現翹曲變形。在航空航天領域的精密鋁合金結構件加工中，必須通過合適的加工和后處理方法來控制表面殘余應力，以確保零件在復雜的飛行環境下的尺寸穩定性。

對于一些承受高應力的精密零件，如高速切削刀具，表面殘余壓應力是有益的。適當的殘余壓應力可以提高零件的疲勞強度和抗裂紋擴展能力。通過表面噴丸、滾壓等可以在零件表面引入一定的殘余壓應力，從而增強零件的耐用性。

表面完整性要求

精密零件的表面應避免出現加工缺陷，如裂紋、劃痕等。在電子芯片制造過程中的硅片加工，微小的表面裂紋都可能導致芯片性能下降失效。加工過程中需要通過嚴格的工藝控制和質量來確保表面完整性。

表面的金相組織也需要符合要求。對于一些經過熱處理的精密零件，如淬火后的精密齒輪，其表面的金相組織應均勻一致，避免出現局部軟點或硬點，以保證齒輪在嚙合過程中的強度和耐磨性。